ウェハカセットエレベータ

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-040713
公開番号（公開出願番号）：特開平9-213767
出願日： 1996年02月02日
公開日（公表日）： 1997年08月15日
要約：

【要約】【課題】ウェハカセットエレベータのテーブル上にウェハカセット内のウェハを水平にした状態でウェハカセットを人手あるいは搬送ロボットで搬出入しており、載せるときウェハカセットに衝撃が加わりウェハカセット内のウェハがウェハカセットから飛び出す恐れがある。【解決手段】ウェハカセット7をウェハカセットエレベータのテーブル10に載置するときはウェハが垂直になるようにウェハカセット7を起こして載置し、ウェハを搬出するときはウェハが水平になるようにウェハカセット7をテーブル10上に寝かせて載置するようにしている。

請求項（抜粋）：

ウェハカセットを載せて昇降するウェハカセットエレベータにおいて、前記ウェハカセットエレベータの支え腕に設けた基板と、前記基板に取付けた軸受と、前記軸受に取付け軸端にピニオンを取付けた回動軸と、前記回動軸に取付けたテーブルと、前記テーブルに垂直に取付けたプレートと、前記ウェハカセットエレベータの機枠に固定し前記ピニオンに係合するラツクとを設けたことを特徴とするウェハカセットエレベータ。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , B65G 1/00 541

FI (2件)：

H01L 21/68 A , B65G 1/00 541

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