特許

J-GLOBAL ID：200903007250441193

容量型圧力センサ

発明者： 長谷川 雄健 ,  植松 彰一 ,  江刺 正喜
出願人/特許権者： 矢崎総業株式会社
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-223678
公開番号（公開出願番号）：特開平7-077471
出願日： 1993年09月08日
公開日（公表日）： 1995年03月20日
要約：

【要約】【目的】 一つの容量型圧力センサで、相対圧力及び絶対圧力の双方を測定できるようにするとともに、センサ容量や集積化した回路が湿度などの影響を受けず、測定にあたり大気圧補正も不要とする。【構成】 シリコン基板9にダイアフラム15,17をそれぞれ備えたセンサ部A,B及び、信号処理回路19を設け、シリコン基板9の両面に第1,第2ガラス基板11,13をそれぞれ接合して、圧力導入通路35,37よりセンサ部A,Bに圧力をそれぞれ導入する。

請求項（抜粋）：

半導体基板に圧力を受けて変位可能なダイアフラムを2つ設け、前記半導体基板の一方の面に、前記各ダイアフラムとの間に電極を有する容量空間を形成する第1ガラス基板を接合するとともに、前記半導体基板の他方の面に、前記各ダイアフラムにそれぞれ別の圧力を導入する圧力導入通路を有する第2ガラス基板を接合し、前記各圧力導入通路から導入された圧力による各ダイアフラムの変位に基づく容量変化を信号処理する信号処理回路を前記半導体基板に設けたことを特徴とする容量型圧力センサ。