特許
J-GLOBAL ID：200903007267192707
形状計測装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
富澤 孝 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-145292
公開番号（公開出願番号）：特開平8-313224
出願日： 1995年05月18日
公開日（公表日）： 1996年11月29日
要約：
【要約】【目的】 回転が安定した高速回転を用いて偏向走査を行うことのできる高分解能な形状計測装置を提供すること。【構成】 点滅するレーザ光源1と、その点滅パターンを格納したパターンメモリ17と、ポリゴンミラー3と、CCDカメラ6とを有し、CCDカメラ6による撮像データに基づき被測定物体Qの形状を算出する形状計測装置であって、ポリゴンミラー3を回転駆動するモータ9と、ポリゴンミラー3が特定の位相になった時にPD信号を発生するフォトディテクタ18とを備え、CCDカメラ6の1画面の撮像時間内に複数回の走査がされるようにポリゴンミラー3を回転駆動し、PD信号により点滅パターンをリセットして同じ点滅パターンを繰り返すようにした。また、撮像時間内に複数回の走査のうち実際にレーザ光の点滅発光を行う回数を選択できるようにした。
請求項（抜粋）：
レーザ光を点滅発生するレーザ光源と、前記レーザ光の点滅パターンを複数種類格納したパターンメモリと、前記レーザ光を被測定物体に向けて偏向走査するポリゴンミラーと、前記レーザ光の照射により被測定物体の表面に生じる映像を撮像する撮像手段と、この撮像手段による撮像データに基づき被測定物体の形状を算出する形状演算手段とを有する形状計測装置において、前記ポリゴンミラーを回転駆動して偏向走査させる駆動手段と、前記ポリゴンミラーの回転の位相を検知して特定の位相の時に位相基準信号を発生する位相基準信号発生手段と、前記位相基準信号を基準として前記パターンメモリに格納された点滅パターンの一つに従い前記レーザ光源を点滅制御する点滅制御手段と、前記撮像手段の1画面の撮像が終了した時に前記点滅制御手段が従う点滅パターンを変更するパターン変更手段とを備え、前記駆動手段は、前記撮像手段の1画面の撮像時間内に複数回の走査がされるように前記ポリゴンミラーを回転駆動することを特徴とする形状計測装置。
IPC (3件)：
G01B 11/24
, G02B 26/10
, G02B 26/10 102
G01B 11/24 C
, G02B 26/10 A
, G02B 26/10 102
