特許
J-GLOBAL ID：200903007269716541
マイクロストリップ線路およびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
深見 久郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-050053
公開番号（公開出願番号）：特開平9-243753
出願日： 1996年03月07日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：
【要約】【課題】 誘電体としての絶縁性能を損なうことなく、電子雪崩によって生じた電荷の帯電を防ぎ、ガス増倍度の経時変化のない検出器を提供できるマイクロストリップ線路を得ること。【解決手段】 誘電体基板1の上面に信号線路3,4を、さらに裏面に基準電位面となる導体層5を有するマイクロストリップ線路に係るものである。誘電体基板7の上に凸部7aを並行に形成し、凸部7aの上部に、上記信号線路3,4を設けたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
誘電体基板の上面に信号線路を、さらに裏面に基準電位面となる導体層を有するマイクロストリップ線路において、前記誘電体基板上に凸部を並行に形成し、この凸部の上部に前記信号線路を設けたことを特徴とするマイクロストリップ線路。
IPC (4件)：
G01T 1/18
, H01J 47/02
, H01P 3/08
, H01L 21/027
G01T 1/18 D
, H01J 47/02
, H01P 3/08
, H01L 21/30 531 E
