特許

J-GLOBAL ID：200903007272850259

原料ガスとしてテトラエトキシシラン又はモノシランを使用する化学蒸着装置から排出される排ガスの無害化処理方法及びその装置

発明者： 渡辺 龍三 ,  阪口 正美 ,  猪口 尚
出願人/特許権者： 大陽東洋酸素株式会社
代理人 (1件)： 杉本 丈夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-218524
公開番号（公開出願番号）：特開平8-083772
出願日： 1994年09月13日
公開日（公表日）： 1996年03月26日
要約：

【要約】【目的】 化学蒸着装置から排出される排ガスに含まれるテトラエトキシシラン及びオゾンを極めて効率よく除去することができ、排ガスの無害化処理を安定して行いうるようにする。【構成】 テトラエトキシシランを使用する化学蒸着装置2から排出される排ガス8を捕集器4のフィルタを通過させることにより、排ガス8中に含まれるテトラエトキシシランの酸化物である二酸化珪素を主成分とする微粉固形物をフィルタにより捕集除去する。捕集器4を経過した排ガス8aを吸着塔5に導いて、金属酸化物触媒又はこれを担持する吸着剤と接触させることにより、排ガス8a中に残存するテトラエトキシシランを酸化分解する。

請求項（抜粋）：

原料ガスとしてテトラエトキシシラン又はモノシランを使用する化学蒸着装置の排気系にフィルタ及び吸着塔を配設して、排ガス中に含まれるテトラエトキシシラン又はモノシランの酸化物である二酸化珪素を主成分とする微粉固形物をフィルタにより捕集除去した上、排ガスを吸着塔内の金属酸化物触媒又はこれを担持する吸着剤と接触させることにより、前記フィルタを経過した排ガス中に残存するテトラエトキシシラン又はモノシランを酸化分解するようにしたことを特徴とする、原料ガスとしてテトラエトキシシラン又はモノシランを使用する化学蒸着装置から排出される排ガスの無害化処理方法。

IPC (4件)：

H01L 21/205 ,  C23C 16/24 ,  C23C 16/42 ,  C23C 16/44

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-139127
  
• 特開平3-207426
  
• プラスチックフィルター
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-029314   出願人：三菱樹脂株式会社