光学顕微鏡自動合焦点装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-038298
公開番号（公開出願番号）：特開平9-230250
出願日： 1996年02月26日
公開日（公表日）： 1997年09月05日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】レーザ光等のスポット光を試料に投射して、反射光量を検出し、合焦点位置までの距離を知り、合焦点を制御できるようにした光学顕微鏡自動合焦点装置を提供する。【解決手段】試料にレーザ光を投射する手段と、レーザ光を反射するためのハーフミラーと、対物レンズの焦点と共役位置に結像する合焦点用結像レンズと、光量を検出する光センサと、合焦点用結像レンズの光路中を光軸に対してほぼ垂直方向に所定周期で回転する厚み変化ガラスと、光量検出信号にもとづく演算を行ない駆動機構部を駆動するとともに厚み変化ガラスが連結された駆動用モータを駆動する制御部とを有し、光センサへの入射光量が最大となる厚み変化ガラスの回転角位置を検出し、検出した回転角位置と、あらかじめ設定した最大光量位置との差出力を得て、制御部からの差出力に応じた駆動信号により駆動機構部を駆動して試料台を垂直方向に移動させる光学顕微鏡自動合焦点装置。

請求項（抜粋）：

少なくとも、観察する試料に対し合焦点位置とするように設けられた対物レンズと、該対物レンズからの光の結像を所定結像面位置に得るように設けられた結像レンズとを備えた光学顕微鏡の自動合焦点装置であって、少なくとも、前記試料を載置し水平方向および垂直方向に移動可能な試料台を垂直方向に移動させる駆動機構部を有する光学顕微鏡自動合焦点装置において、前記試料台に載置された試料にスポット光を投射する手段と、前記試料から反射するスポット光を反射するための前記光学顕微鏡の光路中に設けたハーフミラーと、該ハーフミラーからの反射光が、前記対物レンズの焦点位置と共役な位置に結像するように配置された合焦点用結像レンズと、前記結像レンズの結像面位置と共役な位置である前記合焦点用結像レンズの結像位置に設けた光量を検出する光センサと、前記合焦点用結像レンズの光路中に配置された光路長可変手段と、前記光センサからの光量検出信号にもとづく演算を行ない前記駆動機構部を駆動信号により駆動するとともに、前記光路長可変手段を駆動する制御部とを有し、前記光路長可変手段における前記光センサへの入射光量が最大となる前記光路長可変手段の制御位置を検出し、検出した前記光路長可変手段の制御位置と、あらかじめ設定した最大光量位置との差出力を得て、前記制御部からの差出力に応じた駆動信号により前記駆動機構部を駆動して前記試料台を垂直方向に移動させることを特徴とする光学顕微鏡自動合焦点装置。

IPC (3件)：

G02B 21/18 , G02B 7/28 , G03B 13/36

FI (3件)：

G02B 21/18 , G02B 7/11 J , G03B 3/00 A

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