特許

J-GLOBAL ID：200903007285988284

紫外線センサ及びその製造方法

発明者： 大平 重男 ,  新井 直樹 ,  日高 正伸
出願人/特許権者： 日本軽金属株式会社 ,  東海東洋アルミ販売株式会社
代理人 (2件)： 赤澤 日出夫 ,  ▲橋▼場 満枝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-039871
公開番号（公開出願番号）：特開2009-200222
出願日： 2008年02月21日
公開日（公表日）： 2009年09月03日
要約：

【課題】耐熱性・耐久性に優れ、感度調整のための校正を行うことなく波長254nm付近の紫外線を連続的に監視することができる紫外線センサを提供する。【解決手段】酸化ガリウム単結晶基板10の表面上及び裏面上にそれぞれ第1の電極11及び第2の電極12が形成されたセンサチップ1がパッケージ2の内部に収容されて外部雰囲気から封止される。パッケージ2は検出対象の紫外線に対して透光性を有する窓部材21を有し、センサチップ1の第1の電極11及び第2の電極12に電気的に接続されたリード31及び32がパッケージ1の外部に引き出されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

酸化ガリウム単結晶基板上に第1及び第2の電極が形成されたセンサチップと、 前記センサチップを内部に収容して外部雰囲気から封止すると共に少なくとも一部が検出対象の紫外線に対して透光性を有するパッケージと、 それぞれ前記センサチップの第1及び第2の電極に電気的に接続されると共に前記パッケージの外部に引き出された第1及び第2の端子と を備えたことを特徴とする紫外線センサ。

IPC (4件)：

H01L 23/02 ,  H01L 23/20 ,  H01L 31/108 ,  G01J 1/02

FI (4件)：

H01L23/02 F ,  H01L23/20 ,  H01L31/10 C ,  G01J1/02 G

Fターム (24件)：

2G065AA04 ,  2G065AB05 ,  2G065BA02 ,  2G065BA37 ,  2G065BA38 ,  2G065CA23 ,  2G065CA25 ,  2G065DA06 ,  2G065DA10 ,  2G065DA20 ,  5F049MA05 ,  5F049MB07 ,  5F049NA07 ,  5F049NB10 ,  5F049PA03 ,  5F049PA06 ,  5F049PA11 ,  5F049PA20 ,  5F049SE05 ,  5F049SS04 ,  5F049TA06 ,  5F049TA10 ,  5F049TA20 ,  5F049WA05