特許
J-GLOBAL ID:200903007302967172
露光により不透明化する感光性熱硬化性樹脂組成物およびこれを用いるパターン形成方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
青山 葆 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-177843
公開番号(公開出願番号):特開平7-062067
出願日: 1993年07月19日
公開日(公表日): 1995年03月07日
要約:
【要約】【構成】 a)脂肪族エポキシ樹脂100重量部;b)上記脂肪族エポキシ樹脂に対して当量のアミン系または酸無水物系硬化剤;c)少なくとも1個の(メタ)アクリロイル基またはビニル基を有するエチレン性不飽和モノマー10〜300重量部;およびd)光ラジカル重合開始剤0.1〜5重量部;を含有する感光性熱硬化性樹脂組成物において、上記脂肪族エポキシ樹脂と上記硬化剤との混合物の屈折率n1と、上記エチレン性不飽和モノマーの屈折率n2との差が0.05を上回る感光性熱硬化性樹脂組成物。【効果】 光を照射することにより露光部分と非露光部分との間に充分な光学密度の差を形成でき、形成された不透明部分をその後も光に対して安定に維持できる感光性樹脂組成物が提供された。
請求項(抜粋):
a)脂肪族エポキシ樹脂100重量部;b)該エポキシ樹脂に対して当量のアミン系または酸無水物系硬化剤;c)少なくとも1個の(メタ)アクリロイル基またはビニル基を有するエチレン性不飽和モノマー10〜300重量部;およびd)光ラジカル重合開始剤0.1〜5重量部;を含有する感光性熱硬化性樹脂組成物において、該脂肪族エポキシ樹脂と該硬化剤との混合物の屈折率n1と、該エチレン性不飽和モノマーの屈折率n2との差が0.05を上回る感光性熱硬化性樹脂組成物。
IPC (5件):
C08G 59/42 NHY
, C08G 59/50 NJA
, G03F 7/004 521
, G03F 7/027
, G03F 7/028
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