特許

J-GLOBAL ID：200903007314266404

ウエハ乾燥装置

発明者： 古川 政男
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 大澤 斌 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-279554
公開番号（公開出願番号）：特開2002-085943
出願日： 2000年09月14日
公開日（公表日）： 2002年03月26日
要約：

【要約】【課題】 含水IPAから高純度のIPAを回収する回収装置を備えたIPA式ウエハ乾燥装置を提供する。【解決手段】 本ウエハ乾燥装置40は、従来のIPA式ウエハ乾燥装置の構成に加えて、IPA回収装置42を備える。回収装置は、含水IPAを蒸発させるベーパライザー44、透過膜を備え、IPA蒸気と水蒸気とを分離するベーパーパーミエーションモジュール46、モジュールのIPA側に接続され、分離したIPA蒸気を凝縮させるIPA凝縮器48、及びモジュールの水蒸気側に接続され、水蒸気を凝縮させる水凝縮器50を備える。ベーパライザーに送液された含水IPAは、蒸発して、IPA蒸気及び水蒸気の混合蒸気になり、モジュールに流入する。水蒸気は透過膜を透過して真空ポンプ56によって減圧状態になっている水蒸気側に移行する。IPA蒸気は、透過膜を透過することなくモジュールから流出してIPA凝縮器48に流入し、冷却されてIPA液となり、再使用される。水蒸気は、水凝縮器50で冷却され、水となって、水タンク54に溜まる。

請求項（抜粋）：

イソプロピルアルコール(IPA)を使ってウエハを乾燥するウエハ乾燥装置本体と、ウエハ乾燥装置本体から排出された含水IPAからIPAを回収するIPA回収装置とを備え、IPA回収装置が、ウエハ乾燥装置本体から排出された含水IPAを蒸発させて、IPA蒸気及び水蒸気の混合蒸気を発生させる蒸発器と、水蒸気を透過させ、かつIPA蒸気を透過させない透過膜を備え、IPA蒸気及び水蒸気の混合蒸気からIPA蒸気と水蒸気とを膜分離する膜分離器と、IPA蒸気を凝縮させてIPA液にするIPA凝縮器とを備え、IPA回収装置で含水IPAから回収したIPAをウエハ乾燥装置本体で再使用することを特徴とするウエハ乾燥装置。

IPC (4件)：

B01D 61/36 ,  F26B 21/14 ,  H01L 21/304 648 ,  H01L 21/304 651

FI (4件)：

B01D 61/36 ,  F26B 21/14 ,  H01L 21/304 648 F ,  H01L 21/304 651 H

Fターム (15件)：

3L113AA02 ,  3L113AA05 ,  3L113AB10 ,  3L113AC48 ,  3L113AC49 ,  3L113BA34 ,  3L113DA06 ,  3L113DA26 ,  4D006GA25 ,  4D006KA12 ,  4D006KB18 ,  4D006KE06Q ,  4D006PB14 ,  4D006PB65 ,  4D006PC01