特許

J-GLOBAL ID：200903007315431905

光学的むら検査装置および光学的むら検査方法

発明者： 上田 邦夫
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 福島 祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-005722
公開番号（公開出願番号）：特開平10-197451
出願日： 1997年01月16日
公開日（公表日）： 1998年07月31日
要約：

【要約】【課題】 対象物の光学的むらを自動的にばらつきなく検査することができる光学的むら検査装置および光学的むら検査方法を提供することである。【解決手段】 CCDカメラ17により検査対象物100を撮像し、検査対象物100の画像に対応する画像データを出力する。画像データを規格化することにより規格化画像データを得る。規格化画像データの画素の値の平均値を算出し、規格化画像データの各画素の値と平均値との差の絶対値を算出する。差の絶対値がしきい値以下の画素の値を“0”で置き換え、かつ残りの画素の値を保持し、積算対象データとする。積算対象データの画素値を積算する。積算値に基づいて光学的むらの有無を判定する。

請求項（抜粋）：

対象物の光学的むらを検査する光学的むら検査装置であって、前記対象物の画像に対応する画像データを規格化することにより規格化画像データを得る規格化手段と、前記規格化手段により得られた規格化画像データの画素の値の平均値を算出し、前記規格化画像データの各画素の値と前記平均値との差の絶対値を算出する算出手段と、前記算出手段により算出された差の絶対値を予め定められたしきい値と比較し、前記しきい値よりも大きい差の絶対値を抽出する抽出手段と、前記抽出手段により抽出された差の絶対値を積算する積算手段と、前記積算手段により得られた積算値に基づいて光学的むらの有無を判定する判定手段とを備えたことを特徴とする光学的むら検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/30 ,  G06T 7/00

FI (4件)：

G01N 21/88 E ,  G01B 11/30 G ,  G06F 15/62 400 ,  G06F 15/70 330 N