特許
J-GLOBAL ID：200903007316693431
放射線検出素子及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外2名)
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP1998000550
公開番号（公開出願番号）：WO1998-036290
出願日： 1998年02月12日
公開日（公表日）： 1998年08月20日
要約：
【要約】基板1上に2次元に受光素子2を配列し、各行又は各列の受光素子2と信号線3で電気的に接続されたボンディングパッド4を基板1の外周辺上に配列させ、受光素子2と信号線3上に保護用のパッシベーション膜5を設けて受光素子アレイ6が形成されている。この受光素子アレイ6の受光面上にCsI柱状結晶のシンチレータ7が堆積され、その上から、Al無機膜9をパリレン製の有機膜8、10で挟み込んだ保護膜11が積層されている。保護膜11の外周は、ボンディングパッド4が露出するような位置で切断されており、パッシベーション膜5に、被覆樹脂12により密着されている。
請求項（抜粋）：
複数の受光素子を基板上に1次元あるいは2次元に配列して受光部を形成し、前記受光部の各行又は各列の前記受光素子と電気的に接続された複数のボンディングパッドを前記受光部の外部に有する受光素子アレイと、 前記受光素子上に堆積された放射線を可視光に変換するシンチレータ層と、 有機膜とその上に積層された無機膜を含む2層以上の多層膜からなり、前記シンチレータ層を覆うとともに、前記受光素子アレイの前記ボンディングパッド部分を露出させている放射線透過性の耐湿保護膜と、 前記耐湿保護膜を前記受光素子アレイの露出部分との境界部分である前記耐湿保護膜の縁に沿ってコーティングして前記耐湿保護膜の縁を前記受光素子アレイに密着させている被覆樹脂と、 を備えている放射線検出素子。
IPC (1件)：
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