特許
J-GLOBAL ID：200903007317286597

常圧プラズマガスノズル体

発明者：
中武 純夫

中武 純夫 について


出願人/特許権者：
積水化学工業株式会社

積水化学工業株式会社 について


代理人 (1件)： 河備 健二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-369533
公開番号（公開出願番号）：特開2002-173779
出願日： 2000年12月05日
公開日（公表日）： 2002年06月21日
要約：
【要約】【課題】 大気圧条件下で安定した放電状態を実現でき、しかも大量のプラズマガスを発生できる常圧プラズマガスノズル体の提供。【解決手段】 大気圧近傍の圧力下、対向する電極の少なくとも一方の対向面に固体誘電体を設置し、当該対向する電極間に処理ガスを導入しパルス状の電界を印加することにより発生するプラズマを被処理体に吹きつけるノズル体であって、ケーシング内に複数のプレート状電極を櫛歯状に交互に設置した複数の放電空間を有するプラズマ発生部、処理ガス導入部及びプラズマガス吹き出し部を備えてなることを特徴とする常圧プラズマガスノズル体。
請求項（抜粋）：
大気圧近傍の圧力下、対向する電極の少なくとも一方の対向面に固体誘電体を設置し、当該対向する電極間に処理ガスを導入し電界を印加することにより発生するプラズマを被処理体に吹きつけるノズル体であって、ケーシング内に複数のプレート状電極を櫛歯状に交互に設置した複数の放電空間を有するプラズマ発生部、処理ガス導入部及びプラズマガス吹き出し部を備えてなることを特徴とする常圧プラズマガスノズル体。
IPC (4件)：
C23C 16/455 ,  B01J 19/08 ,  B01J 19/26 ,  H05H 1/34
FI (4件)：
C23C 16/455 ,  B01J 19/08 H ,  B01J 19/26 ,  H05H 1/34
Fターム (30件)：
4G075AA24 ,  4G075BC04 ,  4G075BD03 ,  4G075CA47 ,  4G075DA01 ,  4G075EB43 ,  4G075EC01 ,  4G075EC21 ,  4G075FC15 ,  4K030AA06 ,  4K030AA09 ,  4K030AA11 ,  4K030AA13 ,  4K030AA14 ,  4K030AA18 ,  4K030BA28 ,  4K030BA29 ,  4K030BA30 ,  4K030BA39 ,  4K030BA40 ,  4K030BA42 ,  4K030BA45 ,  4K030BA47 ,  4K030BA48 ,  4K030BB03 ,  4K030EA05 ,  4K030EA11 ,  4K030JA09 ,  4K030KA30 ,  4K030KA46
引用特許：
審査官引用 (3件)

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