光導波路型表面プラズモン共鳴センサおよび光導波路型表面プラズモン共鳴装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (8件)：三好秀和 , 三好保男 , 岩▲崎▼ 幸邦 , 川又澄雄 , 中村友之 , 伊藤正和 , 高橋俊一 , 高松俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-355226
公開番号（公開出願番号）：特開2004-184381
出願日： 2002年12月06日
公開日（公表日）： 2004年07月02日
要約：

【課題】携帯可能な大きさの光導波路型表面プラズモン共鳴装置と、安価で量産可能な光導波路型プラズモンセンサを提供する。【解決手段】被測定材料の誘電率の変化を被測定材料に接した金属薄膜14の表面における表面プラズモンにより測定するセンサであって、金属薄膜14の裏面に第1主面10aを接し、第2主面10bから入射した光が、一定の入射角θで金属薄膜14の裏面に入射し、金属薄膜14の裏面で反射した光が、第2主面10bから出射する透明な基板10と、第1主面10aに接して金属薄膜14の両側に配置された、光を金属薄膜14の裏面に入射する前に回折する入射側グレーティング12a、および光を金属薄膜14の裏面で反射後に回折する出射側グレーティング12bと、第1主面10aに接して、入射側グレーティング12aおよび出射側グレーティング12bを覆うように設けられた保護膜11とを含む。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被測定材料の誘電率の変化を前記被測定材料に接した金属薄膜の表面における表面プラズモンにより測定するセンサであって、前記金属薄膜の裏面に第1主面を接し、第2主面から入射した光が、一定の入射角で前記金属薄膜の裏面に入射し、前記金属薄膜の裏面で反射した前記光が、前記第2主面から出射する透明な基板と、前記第1主面に接して前記金属薄膜の両端に配置された、前記光を前記金属薄膜の裏面に入射する前に回折する入射側グレーティング、および前記光を前記金属薄膜の裏面で反射後に回折する出射側グレーティングと、前記第1主面に接して、前記入射側グレーティングおよび前記出射側グレーティングを覆うように設けられた保護膜とを含むことを特徴とする光導波路型表面プラズモン共鳴センサ。

IPC (3件)：

G01N21/27 , G01N33/543 , G02B6/122

FI (3件)：

G01N21/27 C , G01N33/543 595 , G02B6/12 A

Fターム (15件)：

2G059AA01 , 2G059BB04 , 2G059CC17 , 2G059DD03 , 2G059DD12 , 2G059EE02 , 2G059GG01 , 2G059JJ11 , 2G059JJ12 , 2G059JJ13 , 2G059JJ15 , 2G059JJ17 , 2H047KA02 , 2H047MA01 , 2H047QA07

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