電磁波遮蔽膜付き基板

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-049323
公開番号（公開出願番号）：特開2000-252682
出願日： 1999年02月26日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：

【要約】【課題】反射色調が無彩色から青緑色で違和感のない30dB以上(1GHz)の高電磁波遮蔽性能を有する耐湿性に優れた電磁波遮蔽膜付き基板を得ること。【解決手段】透明基板上に、透明基板/透明酸化物層および/透明窒化物よりなる第1層/Agよりなる第2層/ZnAlの金属バリアー層よりなる第3層/透明酸化物層および/透明窒化物よりなる第4層/Agよりなる第5層/ZnAlの金属バリアー層よりなる第6層/透明酸化物層および/透明窒化物よりなる第7層からなる被膜を順次所定膜厚みで積層すること。

請求項（抜粋）：

透明基板上に、透明基板/透明酸化物層および/または透明窒化物層よりなる第1層/Ag層よりなる第2層/ZnAlの金属バリヤー層よりなる第3層/透明酸化物層および/または透明窒化物層よりなる第4層/Ag層よりなる第5層/ZnAlの金属バリヤー層よりなる第6層/透明酸化物層および/または透明窒化物よりなる第7層からなる被膜が順次積層され、第1層目の膜厚が26〜36nm,第2層および第5層の膜厚がそれぞれ15nm〜50nm、第3層および第6層の膜厚がそれぞれ1.5nm以下、第4層の膜厚が80〜100nm、第7層の膜厚が23〜40nmからなることを特徴とする電磁波遮蔽膜付き基板。

IPC (5件)：

H05K 9/00 , B32B 7/02 104 , B32B 9/00 , C03C 17/36 , C23C 14/06

FI (6件)：

H05K 9/00 V , H05K 9/00 W , B32B 7/02 104 , B32B 9/00 A , C03C 17/36 , C23C 14/06 N

Fターム (87件)：

4F100AA12A , 4F100AA12D , 4F100AA12E , 4F100AA13A , 4F100AA13D , 4F100AA17A , 4F100AA17D , 4F100AA17E , 4F100AA21A , 4F100AA21D , 4F100AA21E , 4F100AA25A , 4F100AA25D , 4F100AA25E , 4F100AA28A , 4F100AA28D , 4F100AA28E , 4F100AA33A , 4F100AA33D , 4F100AA33E , 4F100AB10C , 4F100AB10E , 4F100AB18C , 4F100AB18E , 4F100AB24B , 4F100AB24E , 4F100AB31C , 4F100AB31E , 4F100AD05A , 4F100AD05D , 4F100AD05E , 4F100AG00 , 4F100AT00A , 4F100BA05 , 4F100BA07 , 4F100BA14 , 4F100BA25 , 4F100GB41 , 4F100JD04 , 4F100JD08 , 4F100JD08C , 4F100JD08E , 4F100JD20B , 4F100JD20E , 4F100JG04 , 4F100JN01A , 4F100JN01D , 4F100JN01E , 4F100JN08 , 4F100JN28 , 4F100JN30 , 4F100YY00 , 4F100YY00B , 4F100YY00E , 4G059AA01 , 4G059AC20 , 4G059DA01 , 4G059EA01 , 4G059EA02 , 4G059EA04 , 4G059EA07 , 4G059EA12 , 4G059EB04 , 4G059GA02 , 4G059GA04 , 4G059GA12 , 4K029AA09 , 4K029AA11 , 4K029AA24 , 4K029BA04 , 4K029BA23 , 4K029BA43 , 4K029BA47 , 4K029BA48 , 4K029BA49 , 4K029BA50 , 4K029BA58 , 4K029BB02 , 4K029CA05 , 4K029DC05 , 4K029DC06 , 4K029DC26 , 5E321AA46 , 5E321BB23 , 5E321BB25 , 5E321GG05 , 5E321GH01

引用特許：

審査官引用 (1件)

電磁波遮蔽体
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-333696 出願人：日本板硝子株式会社

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