特許
J-GLOBAL ID：200903007331412937
熱式流量センサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後呂 和男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-182048
公開番号（公開出願番号）：特開2002-005708
出願日： 2000年06月16日
公開日（公表日）： 2002年01月09日
要約：
【要約】【課題】 低コストで管路の側部開口の気密性を保つことが可能な熱式流量センサを提供する。【解決手段】 熱式流量センサの管路10と素子基板31,36は、共に耐薬品製を有した部材で構成されているから、腐食性が高い薬品を検出対象とすることができる。ここで、管路10に形成した側部開口22,22の開口縁には、環状リブ19,19が一体成形され、これを素子基板31,36に押しつけて側部開口22,22を閉塞してあるから、従来のように耐薬品性を有した特別なOリングを用いずに、管路10の側部開口22,22を密閉することができる。しかも、管路10は軟質部材であるフッ素樹脂で構成され、素子基板31,36は硬質部材であるセラミックで構成されているから、環状リブ19,19の先端がセラミックに押し潰されて密着し、これにより、気密性が保たれる。
請求項（抜粋）：
管路に流れる流体を途中で加熱し、加熱された流体と加熱部分より上流の流体との温度差が所定値となるように加熱量を制御して、その加熱量に基づいて流体の流量を求める熱式流量センサであって、前記管路の途中には側部開口が形成されると共に、測温素子を固着して備えた素子基板を、前記側部開口に宛って前記流体の温度を測定するものにおいて、前記管路は、耐薬品性を有した軟質部材で構成される一方、前記素子基板は、耐薬品性を有した硬質部材で構成されて、前記素子基板の周縁が、前記側部開口の開口縁に重なって閉塞する大きさをなし、前記素子基板の周縁又は前記側部開口の開口縁のいずれか一方の全周に亘って一体形成されて、他方側に向かって突出した環状リブと、前記管路との間で、前記素子基板を挟んで、前記環状リブを前記他方側に押しつけた状態に保持する取付部材とを備えたことを特徴とする熱式流量センサ。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01F 1/68 101 A
, G01F 1/68 101 B
, G01F 1/68 103 B
