発光装置及びその作製方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-191678
公開番号（公開出願番号）：特開2003-007461
出願日： 2001年06月25日
公開日（公表日）： 2003年01月10日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】高分子系有機化合物を用いた発光装置の作製において、比較的容易にフルカラー化を実現する方法を提供する。【解決手段】本発明において、高分子系有機化合物をプロトン性溶媒または非プロトン性溶媒に溶解させ、これを塗布することにより積層構造を有する有機化合物膜を形成することができる。さらに、この有機化合物膜上にエッチングストッパーとなる導電膜を形成してエッチングを行うことにより、導電膜と重なる位置に形成されている有機化合物膜を残したエッチングが可能となる。なお、湿式エッチング法と乾式エッチング法を組み合わせて用いることにより、複数の高分子系有機化合物からなる有機化合物膜を作り分けることができる。

請求項（抜粋）：

第1の有機化合物膜上に第2の有機化合物膜を形成し、前記第2の有機化合物膜上に第1の導電膜を形成し、前記第2の有機化合物膜の前記第1の導電膜と重ならない領域を湿式エッチング法によりエッチングし、前記第1の有機化合物膜上に第3の有機化合物膜を形成し、前記第3の有機化合物膜上に第2の導電膜を形成し、前記第3の有機化合物膜の前記第2の導電膜と重ならない領域と、前記第1の有機化合物膜の前記第1の導電膜及び前記第2の導電膜と重ならない領域と、を乾式エッチング法によりエッチングすることを特徴とする発光装置の作製方法であって、前記第1の有機化合物膜はプロトン性溶媒を溶媒とする溶液を塗布することにより形成し、前記第2の有機化合物膜及び前記第3の有機化合物膜は、非プロトン性溶媒を溶媒とする溶液を塗布することにより形成することを特徴とする発光装置の作製方法。

IPC (8件)：

H05B 33/10 , G09F 9/00 338 , G09F 9/00 348 , G09F 9/30 338 , G09F 9/30 365 , H05B 33/12 , H05B 33/14 , H05B 33/22

FI (8件)：

H05B 33/10 , G09F 9/00 338 , G09F 9/00 348 C , G09F 9/30 338 , G09F 9/30 365 Z , H05B 33/12 B , H05B 33/14 B , H05B 33/22 Z

Fターム (42件)：

3K007AB04 , 3K007AB18 , 3K007BA06 , 3K007BB01 , 3K007BB07 , 3K007CA01 , 3K007CB01 , 3K007DA01 , 3K007DB03 , 3K007EB00 , 3K007FA01 , 5C094AA08 , 5C094AA43 , 5C094AA44 , 5C094AA48 , 5C094BA03 , 5C094BA12 , 5C094BA27 , 5C094CA19 , 5C094CA24 , 5C094CA25 , 5C094DA09 , 5C094DA13 , 5C094DB01 , 5C094DB04 , 5C094EA04 , 5C094EA05 , 5C094EA07 , 5C094EB02 , 5C094FA01 , 5C094FA02 , 5C094FB01 , 5C094FB20 , 5C094GB10 , 5G435AA04 , 5G435AA17 , 5G435BB05 , 5G435CC09 , 5G435CC12 , 5G435EE37 , 5G435HH20 , 5G435KK05

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