特許

J-GLOBAL ID：200903007335096550

電気的特性測定装置

発明者： 岡崎 祥也
出願人/特許権者： 鈴鹿富士ゼロックス株式会社
代理人 (1件)： ▲高▼橋 克彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-369609
公開番号（公開出願番号）：特開平11-194953
出願日： 1997年12月28日
公開日（公表日）： 1999年07月21日
要約：

【要約】【課題】 パルス発生手段の同時出力チャンネル数を節約することにより、装置全体の価格上昇と複雑化することを防止し、電気的特性測定を効率良く、又精度良く、安価に実現すること。【解決手段】 半導体素子の電気的特性測定を実施する電気的特性測定装置において、時系列的に変化する入力パルスを発生させるパルス発生手段1と、該パルス発生手段1に接続された入力端子と被測定半導体素子に接続された出力端子との接続関係を任意に設定できる接続関係設定手段2と、上記配線経路を任意に設定するコンフィグレーション手段3と、前記接続関係設定手段2に接続された前記固定手段5に固定された前記被測定半導体素子4の半導体特性を測定する測定手段6と、前記被測定半導体素子4を物理的に着脱または一時固定する固定手段5と、前記パルス発生手段1、前記接続関係設定手段2および測定手段6を時系列的に制御する制御手段7とから成る電気的特性測定装置。

請求項（抜粋）：

半導体素子の電気的特性測定を実施する電気的特性測定装置において、時系列的に変化する入力パルスを発生させるパルス発生手段と、該パルス発生手段に接続された入力端子と被測定半導体素子に接続された出力端子との接続関係を任意に設定できる接続関係設定手段と、少なくとも接続関係設定手段を時系列的に制御する制御手段と、該接続関係設定手段に接続された前記被測定半導体素子の半導体特性を測定する測定手段とから成ることを特徴とする電気的特性測定装置。

IPC (3件)：

G06F 11/22 310 ,  G01R 31/26 ,  G01R 31/28

FI (3件)：

G06F 11/22 310 L ,  G01R 31/26 G ,  G01R 31/28 H