特許

J-GLOBAL ID：200903007341494699

投影レンズ

発明者： 加藤 隆志
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-015870
公開番号（公開出願番号）：特開平10-197791
出願日： 1997年01月13日
公開日（公表日）： 1998年07月31日
要約：

【要約】【課題】 構成枚数が少なくかつ高解像力と広い露光領域を確保した物体側、像側共にテレセントリックな投影レンズを得ること。【解決手段】 物体側より順に正の屈折力を有する第1 レンズ群L1と、負の屈折力を有する第2 レンズ群L2と、正の屈折力を有する第3 レンズ群L3と、正の屈折力を有する第4 レンズ群L4と、該第3 レンズ群L3中若しくはその近傍に絞りとを有し、物体を縮小して像面上に投影すると共に物体側と像側が共にテレセントリックであり、該第1 レンズ群L1の横倍率β<SB>1</SB> が条件式0 < 1/β<SB>1</SB> ≦0.3を満足している。

請求項（抜粋）：

物体側より順に正の屈折力を有する第1 レンズ群L1と、負の屈折力を有する第2 レンズ群L2と、正の屈折力を有する第3 レンズ群L3と、正の屈折力を有する第4 レンズ群L4と、該第3 レンズ群L3中若しくはその近傍に絞りとを有し、物体を縮小して像面上に投影すると共に物体側と像側が共にテレセントリックであり、該第1 レンズ群L1の横倍率β<SB>1</SB> が条件式0 < 1/β<SB>1</SB> ≦0.3を満足していることを特徴とする投影レンズ。

IPC (3件)：

G02B 13/22 ,  G02B 13/24 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G02B 13/22 ,  G02B 13/24 ,  H01L 21/30 515 D