特許
J-GLOBAL ID：200903007350663002
ウエハ洗浄方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 光男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-054658
公開番号（公開出願番号）：特開平6-252117
出願日： 1993年02月22日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：
【要約】【目的】 必要以上の洗浄液を用いることなく大きな洗浄効果が得られ、またウエハ面を高い洗浄効率で均一に洗浄処理可能なウエハ洗浄方法を提供する。【構成】 洗浄槽1内に洗浄液をオーバーフローさせた状態でウエハ7の洗浄を行うウエハ洗浄方法において、前記洗浄槽内の洗浄液の流速分布を変化させながらウエハの洗浄を行う。
請求項（抜粋）：
洗浄槽内に洗浄液をオーバーフローさせた状態でウエハの洗浄を行うウエハ洗浄方法において、前記洗浄槽内の洗浄液の流速分布を変化させながらウエハの洗浄を行うことを特徴とするウエハ洗浄方法。
IPC (3件)：
H01L 21/304 341
, H01L 21/304
, B08B 3/10
