特許

J-GLOBAL ID：200903007356045904

感光性ポリアミド酸エステル組成物

発明者： 丸山 公幸
出願人/特許権者： 旭化成エレクトロニクス株式会社
代理人 (4件)： 武井 英夫 ,  清水 猛 ,  伊藤 穣 ,  鳴井 義夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-264308
公開番号（公開出願番号）：特開2008-083467
出願日： 2006年09月28日
公開日（公表日）： 2008年04月10日
要約：

【課題】電気・電子材料の製造に有用な、i線露光可能であり、かつ高い耐熱性及び耐薬品性を併せ持ったポリイミドパターンを与えうる感光性ポリアミド酸エステル組成物を提供する。【解決手段】(A)下記一般式(1)で表される繰り返し単位をからなるポリアミド酸エステル100質量部に対して、(B)光開始剤1〜15質量部と、(C)溶媒30〜600質量部とを含むことを特徴とする感光性ポリアミド酸エステル組成物。【化1】【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)下記一般式(1)で表される繰り返し単位からなるポリアミド酸エステル100質量部に対して、(B)光開始剤1〜15質量部と、(C)溶媒30〜600質量部とを含むことを特徴とする感光性ポリアミド酸エステル組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/027 ,  G03F 7/40 ,  H01L 21/027 ,  C08F 290/14 ,  C08G 73/10

FI (6件)：

G03F7/027 514 ,  G03F7/40 501 ,  G03F7/40 521 ,  H01L21/30 502R ,  C08F290/14 ,  C08G73/10

Fターム (114件)：

2H025AA07 ,  2H025AA08 ,  2H025AA10 ,  2H025AA14 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC43 ,  2H025BC69 ,  2H025CA01 ,  2H025FA15 ,  2H025FA29 ,  2H025FA41 ,  2H096AA26 ,  2H096BA06 ,  2H096EA02 ,  2H096GA03 ,  2H096HA01 ,  2H096HA23 ,  2H096HA27 ,  2H096JA04 ,  4J043PA02 ,  4J043PA04 ,  4J043PA15 ,  4J043PA19 ,  4J043PC035 ,  4J043PC085 ,  4J043QB15 ,  4J043QB25 ,  4J043QB26 ,  4J043QB31 ,  4J043QB33 ,  4J043RA06 ,  4J043RA35 ,  4J043SA06 ,  4J043SA54 ,  4J043SA72 ,  4J043SA85 ,  4J043SB01 ,  4J043SB03 ,  4J043TA12 ,  4J043TA22 ,  4J043TA32 ,  4J043TA35 ,  4J043TA43 ,  4J043TA44 ,  4J043TA51 ,  4J043TA61 ,  4J043TA74 ,  4J043TB01 ,  4J043TB03 ,  4J043UA032 ,  4J043UA121 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA141 ,  4J043UA221 ,  4J043UA222 ,  4J043UA262 ,  4J043UA332 ,  4J043UA382 ,  4J043UA712 ,  4J043UB011 ,  4J043UB012 ,  4J043UB021 ,  4J043UB022 ,  4J043UB121 ,  4J043UB151 ,  4J043UB152 ,  4J043UB281 ,  4J043UB291 ,  4J043UB301 ,  4J043UB302 ,  4J043XA19 ,  4J043XB19 ,  4J043YA02 ,  4J043YA06 ,  4J043YB07 ,  4J043YB19 ,  4J043ZA12 ,  4J043ZA27 ,  4J043ZB02 ,  4J043ZB03 ,  4J043ZB22 ,  4J043ZB50 ,  4J127AA03 ,  4J127AA04 ,  4J127AA06 ,  4J127BB041 ,  4J127BB081 ,  4J127BB221 ,  4J127BC031 ,  4J127BC151 ,  4J127BD261 ,  4J127BE24Y ,  4J127BE241 ,  4J127BF45Y ,  4J127BF451 ,  4J127BF53Y ,  4J127BF531 ,  4J127BG05Y ,  4J127BG051 ,  4J127BG12Y ,  4J127BG121 ,  4J127BG17Y ,  4J127BG171 ,  4J127BG25Y ,  4J127BG251 ,  4J127CB281 ,  4J127CC131 ,  4J127FA17 ,  4J127FA38

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特許2693168号公報