特許

J-GLOBAL ID：200903007360745910

研磨形状予測方法及び研磨方法並びに研磨装置

発明者： 藤田 隆 ,  談 明偉 ,  香西 雄三 ,  小原 基之
出願人/特許権者： 住友金属工業株式会社
代理人 (1件)： 河野 登夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-031019
公開番号（公開出願番号）：特開2001-219369
出願日： 2000年02月08日
公開日（公表日）： 2001年08月14日
要約：

【要約】【課題】 実研磨の研磨形状を高精度に予測することができるとともに、予測した研磨形状に基づいて所望の研磨形状を得ることができるようにする。【解決手段】 試料の被研磨面を研磨パッドに押付ける押付けの押付力を前記試料と研磨パッドとの間の複数の位置で測定する押付力分布測定器を用いて前記試料と研磨パッドとの間の押付力分布を測定する測定工程と、測定した押付力分布に基づいて実研磨での研磨形状を予測する予測工程と、予測に基づいて研磨開始の可否を判定する研磨開始可否判定工程と、前記押付けて研磨を行う研磨工程とを備える。

請求項（抜粋）：

円板形の試料を回転させつつその被研磨面を研磨パッドに押付けて研磨する実研磨での研磨形状を予測する方法であって、前記試料と研磨パッドとの間の第1の押付力分布を測定し、測定した第1の押付力分布に基づいて前記被研磨面をその直径方向に区分した複数の試料区分域に加わる第2の押付力分布を算出し、この算出した第2の押付力分布に基づいて実研磨での研磨形状を予測することを特徴とする研磨形状予測方法。

IPC (3件)：

B24B 37/04 ,  H01L 21/304 622 ,  H01L 21/304

FI (4件)：

B24B 37/04 K ,  H01L 21/304 622 S ,  H01L 21/304 622 K ,  H01L 21/304 622 R

Fターム (10件)：

3C058AA07 ,  3C058AA12 ,  3C058AC02 ,  3C058BA01 ,  3C058BA05 ,  3C058BB06 ,  3C058BB08 ,  3C058BB09 ,  3C058CB01 ,  3C058DA17