特許
J-GLOBAL ID：200903007361856147
異物検出用の最適閾値決定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梶山 佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-228833
公開番号（公開出願番号）：特開平5-047886
出願日： 1991年08月14日
公開日（公表日）： 1993年02月26日
要約：
【要約】【目的】 ウエハ異物検査装置において、統計的な手法を用い、コンピュータの処理により最適閾値を迅速に決定する方法を提供する。【構成】 ICチップの各プロセス段階において、ウエハ表面の任意の隣接チップを選択してテストチップとしてテストする。異物検査装置によりこれをテストし、コンピュータの処理により、各画素信号のレベルLV に対する画素数Ng の頻度分布を作成し、この頻度分布に近似する近似曲線f(LV)を求める。近似曲線が0となる画素信号のレベルを算出し、これを最適閾値Vmth とする。【効果】 コンピュータの処理により、各プロセス段階のテストチップに対する最適閾値が迅速に決定され、各プロセス段階のICチップに対して最適閾値を適用することにより、パターンの影響を排除して異物が良好に検出される。
請求項（抜粋）：
ウエハの表面に形成された同一パターンを有する複数のICチップを検査対象とし、隣接した2個の該ICチップに対してレーザビームを走査し、該表面の散乱光を光センサにより受光し、該光センサの各画素が出力する対応する画素信号の差分データを、適当な閾値に比較して異物を検出するウエハ異物検査装置において、前記パターンを形成するプロセスの段階ごとに任意の隣接チップをテストチップとしてテストし、コンピュータの処理により、該テストチップの前記差分データの各画素信号のレベルに対する前記画素の個数の頻度分布を作成し、該頻度分布に近似する近似曲線を求め、該近似曲線が0となる前記レベルを算出し、該レベルを最適閾値とすることを特徴とする、異物検出用の最適閾値決定方法。
IPC (5件)：
H01L 21/66
, G01B 11/24
, G01N 21/88
, G03F 1/08
, H01L 21/027
