特許
J-GLOBAL ID：200903007362655927
パタン形成材料、酸前駆体及びパタン形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-224178
公開番号（公開出願番号）：特開平7-077802
出願日： 1993年09月09日
公開日（公表日）： 1995年03月20日
要約：
【要約】【構成】アルコール性水酸基とアルキルスルホン酸とのエステルと酸との反応によりアルカリ水溶液に対する溶解性が変化する化合物から構成される。【効果】半導体デバイスの製作に必要な微細パターン形成を、効率良く、且つ低コストで行えるようになる。
請求項（抜粋）：
酸を触媒とする反応によりアルカリ水溶液に対する溶解性を変化させる反応性を持った媒体と、アルコール性水酸基を複数個有する化合物とアルキルスルホン酸とのエステルからなる酸前駆体とを含むことを特徴とするパタン形成材料。
IPC (6件)：
G03F 7/038 505
, G03F 7/031
, G03F 7/039 501
, G03F 7/30
, G03F 7/38 511
, H01L 21/027
H01L 21/30 502 R
, H01L 21/30 569 F
