特許
J-GLOBAL ID：200903007363539424
ボロメータ型赤外線検知素子、その駆動方法、および検出用積分回路
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-075264
公開番号（公開出願番号）：特開平8-105794
出願日： 1995年03月31日
公開日（公表日）： 1996年04月23日
要約：
【要約】【目的】 熱電変換素子としてボロメータを使用した熱型赤外線検知素子において、消費電力の小さいMOSFETを用い、MOSFETの欠点である1/fノイズ、固定パターンノイズの影響を抑え、高性能で安価な赤外線検知素子を提供する。【構成】 半導体基板上に一次元または二次元に配列され、入射赤外線を電気信号に変換するチタンを用いたボロメータ1と、各画素に配置され、ボロメータがドレインにつながり、ソースを電源に接続したN型MOSFET2と、複数画素に1個の割合で配置された複数のトランスファーゲート4とを有し、ボロメータ1のもう一方の端子を複数個接続し、トランスファーゲート4のソースに接続し、複数のトランスファーゲートのドレイン同士を接続して外部へ出力している。
請求項（抜粋）：
半導体基板上に1次元または2次元に配列され、入射赤外線を電気信号に変換する熱電変換素子と、各画素に配置され、ドレインを前記熱電変換素子の一方の端子に接続し、ソースを電源に接続した一導電型MOSFETと、複数画素に1個の割合で配置され、一導電型MOSFETと反対導電型MOSFETのドレイン同士、ソース同士を接続した複数のトランスファーゲートとを有し、前記熱電変換素子の他方の端子を複数個接続し、前記トランスファーゲートのソースに接続し、前記複数のトランスファーゲートの接続されたドレイン同士を外部へ出力することを特徴とするボロメータ型赤外線検知素子。
IPC (4件)：
G01J 1/02
, G01J 1/44
, G01J 5/02
, H01L 35/32
