特許
J-GLOBAL ID:200903007363696678
高純度合成石英ガラス粒子
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
本多 一郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-195407
公開番号(公開出願番号):特開2003-012331
出願日: 2001年06月27日
公開日(公表日): 2003年01月15日
要約:
【要約】【課題】 天然石英のように高粘性を有し、かつ従来の合成石英のように高純度であり、しかも低コストである高純度合成石英ガラス粒子を提供する。【解決手段】 アルカリ金属珪酸塩を由来とし、総金属不純物量が1μg/g以下である高純度合成石英ガラス粒子であり、特には酸素欠乏欠陥を有する。
請求項(抜粋):
アルカリ金属珪酸塩を由来とし、総金属不純物量が1μg/g以下であることを特徴とする高純度合成石英ガラス粒子。
IPC (3件):
C03B 8/02
, C03B 20/00
, C03C 3/06
FI (5件):
C03B 8/02 A
, C03B 8/02 N
, C03B 20/00 D
, C03B 20/00 G
, C03C 3/06
Fターム (12件):
4G014AH02
, 4G014AH04
, 4G014AH06
, 4G014AH08
, 4G062AA10
, 4G062BB02
, 4G062CC05
, 4G062MM23
, 4G062MM31
, 4G062NN30
, 4G062NN31
, 4G062NN34
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