特許
J-GLOBAL ID:200903007363696678

高純度合成石英ガラス粒子

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 本多 一郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-195407
公開番号(公開出願番号):特開2003-012331
出願日: 2001年06月27日
公開日(公表日): 2003年01月15日
要約:
【要約】【課題】 天然石英のように高粘性を有し、かつ従来の合成石英のように高純度であり、しかも低コストである高純度合成石英ガラス粒子を提供する。【解決手段】 アルカリ金属珪酸塩を由来とし、総金属不純物量が1μg/g以下である高純度合成石英ガラス粒子であり、特には酸素欠乏欠陥を有する。
請求項(抜粋):
アルカリ金属珪酸塩を由来とし、総金属不純物量が1μg/g以下であることを特徴とする高純度合成石英ガラス粒子。
IPC (3件):
C03B 8/02 ,  C03B 20/00 ,  C03C 3/06
FI (5件):
C03B 8/02 A ,  C03B 8/02 N ,  C03B 20/00 D ,  C03B 20/00 G ,  C03C 3/06
Fターム (12件):
4G014AH02 ,  4G014AH04 ,  4G014AH06 ,  4G014AH08 ,  4G062AA10 ,  4G062BB02 ,  4G062CC05 ,  4G062MM23 ,  4G062MM31 ,  4G062NN30 ,  4G062NN31 ,  4G062NN34

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