特許

J-GLOBAL ID：200903007375949202

ポジ型化学増幅系感光性樹脂組成物およびレジスト像の製造法

発明者： 加藤 幸治 ,  橋本 政弘 ,  橋本 通晰
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-191546
公開番号（公開出願番号）：特開平11-038611
出願日： 1997年07月16日
公開日（公表日）： 1999年02月12日
要約：

【要約】【課題】 紫外線、遠紫外線、X線、電子線などの放射線のパタン状照射によりパタン潛像形成部に酸を発生させ、この酸を触媒とする反応によって、当該照射部と未照射部のアルカリ現像液に対する溶解性を変化させ、パターンを現出させるポジ型化学増幅系感光性樹脂組成物において、高感度でかつ高解像度のポジ型化学増幅系感光性樹脂組成物及び解像度の良好なレジストパターンを現出することができるレジスト像の製造法を提供する。【解決手段】 (a)アルカリ水溶液可溶性樹脂、(b)活性化学線照射により酸を生じる化合物及び(c)側鎖に酸触媒反応によりアルカリ水溶液に対する溶解性が増加される酸分解性基を有する化合物を含有してなるポジ型化学増幅系感光性樹脂組成物において、上記アルカリ水溶液可溶性樹脂の水酸化テトラメチルアンモニウムの2.38重量%水溶液に対する溶解速度が40〜1000nm/秒であるポジ型化学増幅系感光性樹脂組成物並びにこのポジ型化学増幅系感光性樹脂組成物の塗膜を、活性化学線で照射し、ついで現像することを特徴とするレジスト像の製造法。

請求項（抜粋）：

(a)アルカリ水溶液可溶性樹脂、(b)活性化学線照射により酸を生じる化合物及び(c)側鎖に酸触媒反応によりアルカリ水溶液に対する溶解性が増加される酸分解性基を有する化合物を含有してなるポジ型化学増幅系感光性樹脂組成物において、上記アルカリ水溶液可溶性樹脂の水酸化テトラメチルアンモニウムの2.38重量%水溶液に対する溶解速度が40〜1000nm/秒であるポジ型化学増幅系感光性樹脂組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/023 511 ,  G03F 7/004 506 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 7/023 511 ,  G03F 7/004 506 ,  H01L 21/30 502 R