チョクラルスキー法を実施するための結晶引上げ装置用の回転ヘッド

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：矢野敏雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-205092
公開番号（公開出願番号）：特開平7-069781
出願日： 1994年08月30日
公開日（公表日）： 1995年03月14日
要約：

【要約】【目的】巻取りドラムの回転運動および軸方向運動が衝撃なしに行われ、かつ特に貫通開口の上方の領域内でこの貫通開口を通って結晶引上げ装置内へ落下する虞れのある摩耗砕片が生成されることがないように結晶引上げ装置の回転ヘッドを改善する。【構成】巻取りドラム15,37に直接接線方向に巻取られる引上げ部材13の部分が鉛直の回転軸線A-A内で案内されており、らせん状のガイド部材30,39がガイドみぞとして構成されており、かつガイドナット31,40が環状のボール32を介してガイドみぞと協働するようになっている。

請求項（抜粋）：

チョクラルスキー法を実施するための結晶引上げ装置(1)用の回転ヘッド(11)であって、鉛直の回転軸線(A-A)を中心にして回転可能な基準プラットフォーム(16)が備えられており、基準プラットフォームが該回転軸線の領域内にこの回転軸線(A-A)内で案内された、巻取り可能な引上げ部材(13)のための鉛直の貫通開口(25)を有しており、かつ基準プラットフォーム上に水平の軸(22,38)の駆動のための駆動ユニット(23)が配置されており、該軸に、引上げ部材を受容するためのらせん状の巻取りみぞ(29)を持った巻取りドラム(15,37)が相対回動不能に、しかし軸方向移動可能に支承されており、かつ巻取りドラムの軸方向移動を行うガイド装置が備えられており、ガイド装置が、水平の軸(22,38)と一緒に回転可能な、巻取りみぞ(29)と同一のピッチを持つらせん状のガイド部材(30,39)とガイドナット(31,40)とを備えていて、しかも鉛直の回転軸線(A-A)から離れた箇所に配置された形式のものにおいて、巻取りドラム(15,37)に直接接線方向に巻取られる引上げ部材(13)の部分が鉛直の回転軸線(A-A)内で案内されており、らせん状のガイド部材(30,39)がガイドみぞとして構成されており、かつガイドナット(31,40)が環状のボール(32)を介してガイドみぞと協働するようになっていることを特徴とする、チョクラルスキー法を実施するための結晶引上げ装置用の回転ヘッド。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭57-027997
特開平3-193695
特開昭62-176984

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