特許

J-GLOBAL ID：200903007377352793

ダイヤモンド被覆部材の製造方法

発明者： 増田 敦彦 ,  水野 博美
出願人/特許権者： 出光石油化学株式会社
代理人 (1件)： 福村 直樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-163126
公開番号（公開出願番号）：特開平5-209276
出願日： 1992年06月22日
公開日（公表日）： 1993年08月20日
要約：

【要約】【目的】 基材とダイヤモンド被膜との密着性の大きなダイイヤモンド被覆部材を提供すること。【構成】 窒化ケイ素等の特定の窒化ケイ素系化合物、炭化タングステン等の特定の金属化合物およびイットリア等の焼結助剤を含有する基材を、あらかじめ5〜3,000気圧の加圧窒素雰囲気中で、1,400〜1,800°Cの温度で加熱処理し、次いで加熱処理した基材表面にダイヤモンド類薄膜を形成することを主たる特徴とする。

請求項（抜粋）：

窒化ケイ素、α-サイアロンおよびβ-サイアロンよりなる群から選択される少なくとも一種と金属炭化物、金属窒化物、金属炭窒化物および金属ホウ化物よりなる群から選択される少なくとも一種と焼結助剤とを含有する基材を、予め5〜3,000気圧の加圧窒素雰囲気中において、1,400〜1,800°Cの温度で加熱処理し、次いで、該加熱処理した基材の表面にダイヤモンド類薄膜を形成することを特徴とするダイヤモンド被覆部材の製造方法。

IPC (6件)：

C23C 16/26 ,  C04B 35/58 102 ,  C04B 35/58 302 ,  C04B 41/87 ,  C30B 25/18 ,  C30B 29/04