特許
J-GLOBAL ID：200903007381061515
焦電型赤外線センサ
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-235101
公開番号（公開出願番号）：特開平6-194228
出願日： 1992年06月30日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：
【要約】【目的】 応答性の良い焦電型赤外線センサ、ならびにクロストークの影響を無視できる小型のマルチエレメントの焦電型赤外線センサを提供する。【構成】 絶縁材料、半導体材料あるいは複合材料からなる基板上あるいは基板内部に除去可能な部分を形成し、その上部に支持層を形成し、前記除去可能な部分を除去することで形成することで下部に空隙を持つ支持層を形成後、さらにその上部に電極、焦電材料からなる薄層、電極を形成することにより焦電型赤外線センサを構成する。【効果】 焦電型赤外線センサの変換効率、応答性を改善し、各素子の熱的分離ができる。
請求項（抜粋）：
半導体材料からなる基板に、下部に空隙を持つ支持層を形成後、さらにその上部に電極、焦電材料からなる薄層、電極という赤外線検知部を1ヶ所以上有することを特徴とする焦電型赤外線センサにおいて、同一半導体基板上にインピーダンス変換用の電界効果型トランジスタおよびゲート抵抗を形成、一体化することを特徴とする焦電型赤外線センサ。
IPC (3件)：
G01J 1/02
, G01J 5/02
, H01L 37/00
