容量式半導体加速度センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：恩田博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-280336
公開番号（公開出願番号）：特開平6-130084
出願日： 1992年10月19日
公開日（公表日）： 1994年05月13日
要約：

【要約】【目的】センシング部の大型化を招くことなく高S/Nの検出信号を得ることができる半導体加速度センサを提供することにある。【構成】コンデンサCs1〜Cs4は、4組の対向電極よりなり、この電極は片持ち梁の錘に可動電極として形成され、加速度の印加により容量が変化する。又、センシング部19,差動増幅器20により、発振器18からの搬送波にコンデンサCs1〜Cs4(電極)からの入力信号が重畳される。さらに、バンドパスフィルタ21は、その中心周波数fc が搬送波の周波数fと一致し、畳重信号を通過させる。

請求項（抜粋）：

加速度の印加により容量が変化する電極と、搬送波に前記電極からの入力信号を重畳するAM変調回路と、中心周波数が前記搬送波の周波数と一致し、前記AM変調回路からの信号を通過させるバンドパスフィルタとを備えたことを特徴とする容量式半導体加速度センサ。

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