特許
J-GLOBAL ID:200903007385978987

疵検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 櫻井 俊彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-124191
公開番号(公開出願番号):特開平7-306163
出願日: 1994年05月13日
公開日(公表日): 1995年11月21日
要約:
【要約】〔目的〕 操作が簡単で検査時間が短縮できると共に検査精度を向上でき、しかも疵と異物の付着などによる汚れとの弁別が可能な疵検査装置を提供する。〔構成〕 検査対象の物体(W) の表面を撮影する撮影装置と、この撮影装置から離れて設置されこの撮影装置で撮影された物体の表面の像を表示する表示装置から構成されている。上記撮影装置は、物体(W) の表面を左側から撮影する左側撮影装置(CM1) と右側から撮影する右側撮影装置(CM2) とから成り、表示装置は左側撮影装置(CM1) の撮像を観者の左眼に感得させ、右側撮影装置(CM2) の撮像を観者の右眼に感得させる手段(DP)を備えている。
請求項(抜粋):
検査対象の物体の表面を撮影する撮影装置と、この撮影装置から離れた箇所に設置されかつこの撮影装置で撮影された物体の表面の像を表示する表示装置とを備えた疵検査装置において、前記撮影装置は前記物体の表面を左側から撮影する左側撮影装置と、前記物体の表面を右側から撮影する右側用撮影装置とから成り、前記表示装置は前記左側撮影装置の撮像を観者の左眼に感得させ、前記右側撮影装置の撮像を観者の右眼に感得させる表示手段を備えたことを特徴とする疵検査装置。
IPC (2件):
G01N 21/89 ,  G01N 21/88

前のページに戻る