走査電子顕微鏡等のカソードルミネッセンス検出装置

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-353952
公開番号（公開出願番号）：特開2003-157789
出願日： 2001年11月20日
公開日（公表日）： 2003年05月30日
要約：

【要約】【課題】走査電子顕微鏡等のカソードルミネッセンス検出装置において、カソードルミネッセンス検出器を挿入状態で、カソードルミネッセンス像以外の像観察が行えない為、像調整などが困難であった。また、カソードルミネッセンス像を得るために検出器を出し入れする操作に煩わしさがあった。このような課題の操作性を改善する。【解決手段】カソードルミネッセンス像を検出する集光ミラーを二次電子検出器のバイアス電極として兼用し、集光ミラーを挿入した状態で低真空二次電子検出を可能とする。【効果】走査電子顕微鏡等のカソードルミネッセンス像の観察において、カソードルミネッセンス検出器を挿入した状態で二次電子像の観察が容易に行えるため操作性が向上する。

請求項（抜粋）：

収束された電子線を試料に照射し、そこから発生した光を検出するカソードルミネッセンス検出器の集光ミラーに電圧を印加し、試料に対して電界を発生させる手段を有することを特徴とする走査電子顕微鏡等のカソードルミネッセンス検出装置。

IPC (6件)：

H01J 37/244 , G01N 21/62 , G01N 23/225 , G21K 5/04 , H01J 37/252 , H01J 37/28

FI (6件)：

H01J 37/244 , G01N 21/62 A , G01N 23/225 , G21K 5/04 M , H01J 37/252 Z , H01J 37/28 B

Fターム (31件)：

2G001AA03 , 2G001BA07 , 2G001CA03 , 2G001CA07 , 2G001DA06 , 2G001GA01 , 2G001GA06 , 2G001GA09 , 2G001HA09 , 2G001HA13 , 2G001JA07 , 2G001JA12 , 2G043AA01 , 2G043CA05 , 2G043EA11 , 2G043FA01 , 2G043FA02 , 2G043GA07 , 2G043GB11 , 2G043HA03 , 2G043LA01 , 5C033NN01 , 5C033NN10 , 5C033NP01 , 5C033NP02 , 5C033RR03 , 5C033RR04 , 5C033RR06 , 5C033RR10 , 5C033UU04 , 5C033UU06

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