硬質膜被覆部材

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-036349
公開番号（公開出願番号）：特開平6-248420
出願日： 1993年02月25日
公開日（公表日）： 1994年09月06日
要約：

【要約】【構成】基体表面に形成される硬質膜中にHe、Ne、Ar、Kr、Xeの中から少なくとも1種の希ガス元素を0.01〜25原子%の割合で含有せしめ、膜の表面を弾性圧縮応力を生成させる。【効果】硬度を高めることができるとともに基体との密着性をも向上することができ、硬質膜被覆切削工具や摺動部材として優れた特性が発揮される。

請求項（抜粋）：

基体表面に金属炭化物、窒化物、酸化物から選ばれる少なくとも1種からなる硬質膜を被覆してなる硬質膜被覆部材において、前記硬質膜中にHe、Ne、Ar、KrおよびXeから選ばれる少なくとも1種以上の希ガス元素を0.01〜25原子%含有したことを特徴とする硬質膜被覆部材。

IPC (2件)：

C23C 14/06 , C23C 16/22

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平4-136157
特開平4-353575
特開平4-151899

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