特許
J-GLOBAL ID：200903007396060922
ノッチ付ウエハの位置検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-048090
公開番号（公開出願番号）：特開平5-218179
出願日： 1992年02月03日
公開日（公表日）： 1993年08月27日
要約：
【要約】【目的】 V字形のノッチが形成された半導体ウエハのノッチを迅速、かつ精度良く検出する。【構成】 テーブルに保持された半導体ウエハをステッピングモータ2で粗くステップ送りする。このとき、CCDラインセンサ3からの出力信号を比較器91〜95 に与える。CPU10は、比較器91 〜95 の出力信号の変化を監視することにより、ウエハに形成されたノッチを検出する。ノッチ検出後、ウエハを細かくステップ送りし、ノッチ領域の周辺位置データ(A/D変換器8の出力)をサンプリングしてRAM11に記憶する。CPU10は、RAM11に記憶された周辺位置データに基づき、ノッチ位置を算出する。
請求項（抜粋）：
外周部にノッチが形成されたウエハの位置を検出する装置であって、ウエハを回転駆動するウエハ回転駆動手段と、ウエハの周辺位置を検出する一次元イメージセンサと、前記ウエハ回転駆動手段を予め定められた粗いピッチと細かいピッチと切替えてステップ送りする回転駆動制御手段と、前記回転駆動制御手段がウエハ回転駆動手段を粗いピッチでステップ送りしているときに、前記一次元イメージセンサの出力変化を監視することにより、ウエハのノッチを検出するノッチ検出手段と、前記ノッチが検出されたことに基づき、前記回転駆動制御手段がウエハ回転駆動手段を細かいピッチでステップ送りしているときに、前記一次元イメージセンサで検出されたノッチ領域の周辺位置データを記憶する記憶手段と、前記一次元イメージセンサから前記記憶手段に周辺位置データを取り込むタイミングを付与するデータ取り込みタイミング制御手段と、前記記憶手段に記憶されたノッチ領域の周辺位置データに基づき、ノッチ位置を算出するノッチ位置算出手段と、を備えたことを特徴とするノッチ付ウエハの位置検出装置。
引用特許：
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