特許

J-GLOBAL ID：200903007399021880

水酸基が保護されたフェノール性化合物の合成法、及びこれを用いた感放射線組成物

発明者： 榊原 利明 ,  中野 浩二
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-087965
公開番号（公開出願番号）：特開2000-281611
出願日： 1999年03月30日
公開日（公表日）： 2000年10月10日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 KrFエキシマレジストとして好適な水酸基が保護されたポリビニルフェノール又はその誘導体の合成法を提供する。【解決手段】 エノールエーテルを高分子フェノール性化合物を反応させて、水酸基が1-エトキシエチル基、1-イソブトキシエチル基、t-ブトキシカルボニルオキシ基及び1-シクロヘキシルオキシエチル基から選ばれた基で保護されたフェノール性化合物を合成するにあたり、高分子フェノール性化合物として純度が97%以上のものを用いる。

請求項（抜粋）：

エノールエーテルをフェノール性化合物と反応させて、水酸基が保護されたフェノール性化合物を合成する合成法であって、フェノール性化合物の純度が97%以上であることを特徴とする水酸基が保護されたフェノール性化合物の合成法。

IPC (9件)：

C07C 41/06 ,  C07C 43/205 ,  C08F212/14 ,  C08G 8/36 ,  C08K 5/00 ,  C08L 25/18 ,  C08L 61/06 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027

FI (9件)：

C07C 41/06 ,  C07C 43/205 A ,  C08F212/14 ,  C08G 8/36 ,  C08K 5/00 ,  C08L 25/18 ,  C08L 61/06 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (116件)：

2H025AA01 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BJ10 ,  2H025CB17 ,  2H025CB41 ,  2H025CB51 ,  2H025CC03 ,  2H025FA01 ,  4H006AA01 ,  4H006AA02 ,  4H006AA03 ,  4H006AB76 ,  4H006AC43 ,  4H006AD15 ,  4H006AD17 ,  4H006BA28 ,  4H006BA34 ,  4H006BA35 ,  4H006BA36 ,  4H006BA37 ,  4H006BA50 ,  4H006BA51 ,  4H006BA67 ,  4H006BA71 ,  4H006BA72 ,  4H006BB16 ,  4H006BB20 ,  4H006BB22 ,  4H006BB25 ,  4H006BB31 ,  4H006BC31 ,  4H006BC36 ,  4H006BJ50 ,  4H006BP30 ,  4H006FC52 ,  4H006GN07 ,  4H006GP03 ,  4J002BC121 ,  4J002CC021 ,  4J002CC031 ,  4J002CC041 ,  4J002CC051 ,  4J002CC061 ,  4J002EB016 ,  4J002EB076 ,  4J002EB116 ,  4J002ED027 ,  4J002EE037 ,  4J002EH037 ,  4J002EH157 ,  4J002EQ016 ,  4J002EQ026 ,  4J002EU186 ,  4J002EU196 ,  4J002EV216 ,  4J002EV236 ,  4J002EV296 ,  4J002EV306 ,  4J002EW176 ,  4J002EY006 ,  4J002EY016 ,  4J002FD206 ,  4J002FD207 ,  4J002GP03 ,  4J033CA02 ,  4J033CA03 ,  4J033CA05 ,  4J033CA07 ,  4J033CA12 ,  4J033CA14 ,  4J033CA22 ,  4J033CA42 ,  4J033HA12 ,  4J033HB10 ,  4J100AB07P ,  4J100AB07R ,  4J100AJ02Q ,  4J100BA02H ,  4J100BA02R ,  4J100BA03P ,  4J100BA05H ,  4J100BA05R ,  4J100BA06H ,  4J100BA06R ,  4J100BA08H ,  4J100BA08R ,  4J100BC04H ,  4J100BC04R ,  4J100BC53H ,  4J100BC53R ,  4J100CA01 ,  4J100CA04 ,  4J100CA31 ,  4J100GC35 ,  4J100HA19 ,  4J100HA61 ,  4J100HB25 ,  4J100HB26 ,  4J100HB39 ,  4J100HB43 ,  4J100HB44 ,  4J100HB52 ,  4J100HB58 ,  4J100HC01 ,  4J100HC13 ,  4J100HC28 ,  4J100HC38 ,  4J100HC46 ,  4J100HC71 ,  4J100JA37 ,  4J100JA46