特許

J-GLOBAL ID：200903007417640274

ペリクルケース

発明者： 早野 史倫
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-065718
公開番号（公開出願番号）：特開平7-248614
出願日： 1994年03月09日
公開日（公表日）： 1995年09月26日
要約：

【要約】【目的】 レチクルにペリクルを貼り付ける工程を容易に行うことのできるペリクルケースを提供すること。【構成】 本発明のペリクルケースは、ペリクルの構成要素であるフレーム1の薄膜2が張設されている側の端面1C、1Dを載置する載置面3C、3Dと、フレーム1の外周面1Aが当接してフレームを位置決めする当接部3Aとを含み、当接部3Aにフレーム1を押圧保持するための保持プレート3と、ペリクルを保持プレート3との間に収納するための着脱式の蓋6と、を備えている。

請求項（抜粋）：

少なくともフレームと、該フレームに張設された薄膜とで構成されるペリクルを収納するためのペリクルケースにおいて、前記薄膜が張設されている側の前記フレーム端面を載置する載置部と、前記フレームの外周面が当接して前記フレームを位置決めする当接部とを含み、前記当接部に前記フレームを押圧保持するための保持プレートと、前記ペリクルを前記保持プレートとの間に収納するための着脱式の蓋と、を備えていることを特徴とするペリクルケース。

IPC (3件)：

G03F 1/14 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68

FI (2件)：

H01L 21/30 502 J ,  H01L 21/30 503 E