特許
J-GLOBAL ID:200903007419326577

検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 西森 正博
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-211961
公開番号(公開出願番号):特開平6-018439
出願日: 1992年06月30日
公開日(公表日): 1994年01月25日
要約:
【要約】【目的】 異物とピンホール等とを容易に判別できること。【構成】 被検査物Aからの光をCCDセンサー8で受光し、検出手段41に送る。被検査物Aのピンホール35からの信号は、ピンホール周囲における光の屈折等に起因して信号レベルが明暗、つまり上下に振れる。不透明な物が多いゴミ等の異物36からの信号が信号レベルが明暗に振れることがない。そこで検出手段41では、この信号の特性の違いに応じてピンホール35が異物36とを判定する。したがってこのピンホール35と異物36からの信号の特性の違いに応じてピンホール35と異物36とを高い確率で判別できる。
請求項(抜粋):
被検査物(A)からの透過光あるいは反射光を受光するセンサー(8)と、このセンサー(8)からの出力信号により被検査物(A)の傷、ピンホール(35)、異物(36)等の異常を検出する検査装置において、光を透過させない不透明な異物(36)と光を透過させるピンホール(35)との検出信号の特性の違いに応じて異物(36)とピンホール(35)とを判別する検出手段(41)を設けたことを特徴とする検査装置。
IPC (2件):
G01N 21/88 ,  G01B 11/30
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • 特開平4-095861
  • 特開平1-174948
  • 特開平3-073831
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