特許
J-GLOBAL ID:200903007419497614

防塵フィルターのリーク検出装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 池内 寛幸 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-031376
公開番号(公開出願番号):特開平7-243696
出願日: 1994年03月01日
公開日(公表日): 1995年09月19日
要約:
【要約】【目的】 構造が簡単かつ軽量で、分解及び組立てが容易で、保管に場所を取らないクリーンルーム等の防塵フィルターのリーク検出装置を得る。【構成】 防塵フィルター1のフィルター面と同一面に保持ブロック50を取付け、第1のレイル61及び62をフィルター面に平行な面上で第1の所定方向に並行に任意の間隔及び長さで保持し、第1のレイルにそれぞれ摺動可能に嵌合する一対の摺動ブロック60により第2のレイル64を第1の所定方向に直交する第2の所定方向に保持し、捕集ロート71を有するキャリヤー70を第2のレイル64上を自力走行させる。
請求項(抜粋):
防塵フィルターのフィルター面に平行な面上で第1の所定方向に設けられた一対の平行な第1のレイルと、前記第1の所定方向に直交する第2の所定方向に設けられ前記第1のレイル上を摺動する第2のレイルと、前記第2のレイル上を前記第2の所定方向に自力走行可能な捕集ロートと、前記捕集ロートと塵埃検出装置とを連結する可撓性チューブとを具備する防塵フィルターのリーク検出装置。
IPC (3件):
F24F 13/28 ,  B01D 46/42 ,  G01M 3/00
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開昭59-010831
  • 特開昭59-010831

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