特許

J-GLOBAL ID：200903007427976831

感放射線性樹脂組成物

発明者： 大迫 ゆみ
出願人/特許権者： 日本ゼオン株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-379039
公開番号（公開出願番号）：特開2004-212450
出願日： 2002年12月27日
公開日（公表日）： 2004年07月29日
要約：

【課題】比誘電率、耐熱寸法安定性、耐溶剤性、平坦性に優れるばかりでなく、良好な透明性や耐熱変色性をもつ感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】カルボキシル基を2個有する特定の繰り返し構造単位を有するアルカリ可溶性脂環式オレフィン樹脂(A)、酸発生剤(B)、架橋剤(C)、及び溶剤(D)を含有する感放射線性樹脂組成物、及び当該組成物を用いて成る樹脂膜を、基板上に積層し、この樹脂膜に活性放射線を照射して、前記樹脂膜中に潜像パターンを形成し、次いで潜像パターンを有する当該樹脂膜と現像液とを接触させることによりパターンを顕在化させて、基板上に樹脂パターンを形成する方法により透明樹脂パターン膜を得る。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

次式(1)で表される繰り返し構造単位を有するアルカリ可溶性脂環式オレフィン樹脂(A)、酸発生剤(B)、架橋剤(C)、及び溶剤(D)を含有する感放射線性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F7/032 ,  G03F7/004 ,  G03F7/022 ,  H01L21/027

FI (4件)：

G03F7/032 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/022 ,  H01L21/30 502R

Fターム (17件)：

2H025AA10 ,  2H025AB13 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AC03 ,  2H025AC06 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE01 ,  2H025CB43 ,  2H025CB52 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H025FA30