特許
J-GLOBAL ID:200903007430416154
レーザ装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
佐々木 聖孝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-059884
公開番号(公開出願番号):特開平8-236844
出願日: 1995年02月23日
公開日(公表日): 1996年09月13日
要約:
【要約】[目的]一次側冷却水の温度に対して二次側冷却水の温調制御を自動的に適応させる。[構成]温調制御によって電磁弁の1サイクルの開閉動作が行われる度毎に(ステップB2 )、開時間TON、閉時間TOFF の測定値を基にデューテイDを求める(B3 )。次に、このデューティDが予め定めた区分のいずれに該当するかを判定し(B4 )、この判定結果に応じて温調制御の基準値Pt を条件的に変更する(B5 ,B6 ,B7 )。基準値Pt が最大値または上限値PMAX に達し、かつデューティDが所定の上限値たとえば95%を越えたときは(B8 )、冷却能力の限界と判定し、レーザ発振を止めるとともに警報を出す(B9 )。
請求項(抜粋):
水冷式の熱交換器で一次側の冷却水と二次側の冷却水との間で熱交換を行って前記二次側冷却水を所望の温度に温調し、前記温調した二次側冷却水をレーザ発振部に供給するようにしたレーザ装置において、前記二次側冷却水の温度を検出する温度検出手段と、前記熱交換器に前記一次側冷却水を供給するための冷却水供給管に設けられた電磁弁と、前記温度検出手段からの冷却水温度検出信号を基準値と比較し、その比較結果に応じて前記電磁弁を開閉制御する温度制御手段と、前記電磁弁の開閉時間のデューティを求めるデューティ演算手段と、前記デューティ演算手段で求められたデューティに応じて前記基準値を可変制御する基準値可変制御手段と、を具備することを特徴とするレーザ装置。
IPC (2件):
FI (2件):
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