特許

J-GLOBAL ID：200903007440650040

基板搬送ロボットの検査装置

発明者： 森 邦彦 ,  石倉 泰三
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-308046
公開番号（公開出願番号）：特開2001-127136
出願日： 1999年10月29日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
要約：

【要約】【課題】 基板搬送ロボットのブレードの動作精度や状態を正確に測定し、基板搬送ロボットの健全状態を適正に検査することのできる検査装置を提供すること。【解決手段】 本発明は、マルチチャンバ型半導体製造装置にてウェハWの搬送を行うべくウェハが載置され且つ実質的に水平移動可能となっているブレード42を有する搬送ロボット26の検査を行う検査装置86に関する。この検査装置86は、ロードロックチャンバ14内のカセットステージ80の上面、すなわち実質的に水平な基準面と、該基準面の上方を移動するブレード42との間の垂直方向の距離を計測することができる非接触式の距離センサSを備えることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

基板処理装置において基板の搬送を行うべく基板が載置され且つ実質的に水平に移動可能となっているブレードを有する基板搬送ロボットの検査を行う検査装置であって、前記基板処理装置内の実質的に水平な基準面と、該基準面の上方を移動する前記ブレードとの間の垂直方向の距離を計測することができる非接触式の距離センサを備える基板搬送ロボットの検査装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B25J 9/10 ,  G01B 21/00

FI (3件)：

H01L 21/68 A ,  B25J 9/10 Z ,  G01B 21/00 A

Fターム (32件)：

2F069AA01 ,  2F069AA52 ,  2F069AA54 ,  2F069AA78 ,  2F069AA93 ,  2F069BB01 ,  2F069BB15 ,  2F069DD02 ,  2F069DD16 ,  2F069FF01 ,  2F069GG07 ,  2F069GG58 ,  2F069GG59 ,  2F069GG63 ,  2F069GG65 ,  2F069HH09 ,  2F069HH15 ,  2F069JJ13 ,  2F069MM02 ,  2F069QQ07 ,  3F059AA01 ,  3F059DA08 ,  3F059DC08 ,  3F059DE06 ,  3F059GA00 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA12 ,  5F031GA41 ,  5F031GA44 ,  5F031MA04