特許

J-GLOBAL ID：200903007446999338

静電型マイクロウォブルモータ

発明者： 芝池 成人 ,  松本 聡
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-183349
公開番号（公開出願番号）：特開平6-038561
出願日： 1992年07月10日
公開日（公表日）： 1994年02月10日
要約：

【要約】【目的】 ウォブルモータの持つ低速高トルクという特徴を活かし、最適形状をめざした自由な設計が可能であり、かつIC製造方法を利用することによる小型軽量化や量産性、信頼性の高さを保持しつつ、マイクロマシンの駆動源となり得る静電駆動型のマイクロウォブルモータを提供する。【構成】 円周状に配置された複数の電極13a〜13hと、これらの電極の内側に位置し、内周には内歯歯車を形成した円環形状のロータ12と、このロータのさらに内側に位置し、外周にはロータ内周の内歯歯車に歯合する歯車を形成し、かつ電極と同芯に回動自在な状態で支持された出力ギア11とからなり、電極13a〜13hの内直径と前記ロータ12の外直径との差が、ロータ内周の内歯歯車のピッチ円直径と出力ギア11外周の歯車のピッチ円直径との差に等しい静電駆動型のマイクロウォブルモータであり、励起された電極に吸引されて公転及び自転するロータの回転成分をすべて出力ギアの自転成分に伝達して、この出力ギアからモータの出力を得る。

請求項（抜粋）：

円周状に配置された複数の電極と、これらの電極の内側に位置し、内周には内歯歯車を形成した円環形状のロータと、このロータのさらに内側に位置し、外周には前記ロータ内周の内歯歯車に歯合する歯車を形成し、かつ前記電極と同芯に回動自在な状態で支持された出力ギアとからなり、前記電極の内直径と前記ロータの外直径との差が、前記ロータ内周の内歯歯車のピッチ円直径と前記出力ギア外周の歯車のピッチ円直径との差に等しいことを特徴とする静電型マイクロウォブルモータ。