特許
J-GLOBAL ID：200903007464687246
圧電振動角速度計
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-258102
公開番号（公開出願番号）：特開平7-113643
出願日： 1993年10月15日
公開日（公表日）： 1995年05月02日
要約：
【要約】【目的】 小型で安価に量産できる圧電振動角速度計を提供することを目的とする。【構成】 シリコン加工プロセスにより形成された片持ち梁または両持ち梁形状の振動子およびそれを支持する基体と、振動子上に形成された圧電及び/または電歪材料からなる薄膜とから圧電振動角速度計を構成する。
請求項（抜粋）：
シリコン加工プロセスにより形成された振動子およびそれを支持する基体と、前記振動子上に直接または他の層を介して形成された圧電および/または電歪材料からなる薄膜とから構成される圧電振動角速度計において、前記振動子が前記基体に支持された両持ち梁形状を有することを特徴とする圧電振動角速度計。
IPC (2件)：
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