特許

J-GLOBAL ID：200903007466729779

電子放出素子、電子源、画像形成装置及びそれらの製造方法

発明者： 織田 仁 ,  高木 博嗣
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 敬介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-188424
公開番号（公開出願番号）：特開2000-021292
出願日： 1998年07月03日
公開日（公表日）： 2000年01月21日
要約：

【要約】【課題】 電子放出特性の経時劣化の少ない電子放出素子を提供する。【解決手段】 素子電極2,3間に、電子放出部5を有する導電性膜4を備える電子放出素子であって、導電性膜4を、この上に選択的に形成したタングステン金属核を中心にして堆積されたタングステン膜6で被覆したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

絶縁性基板上に設けられた一対の素子電極間に、電子放出部を有する導電性膜を備える電子放出素子であって、該導電性膜が、該導電性膜上に分散配置されたタングステン金属核とこれを覆うタングステン被膜を有することを特徴とする電子放出素子。

IPC (5件)：

H01J 1/316 ,  H01J 1/30 ,  H01J 9/02 ,  H01J 29/04 ,  H01J 31/12

FI (5件)：

H01J 1/30 E ,  H01J 1/30 B ,  H01J 9/02 E ,  H01J 29/04 ,  H01J 31/12 C

Fターム (14件)：

5C031DD09 ,  5C031DD17 ,  5C031DD19 ,  5C035AA01 ,  5C035BB01 ,  5C035BB10 ,  5C036EE01 ,  5C036EE02 ,  5C036EE14 ,  5C036EF01 ,  5C036EF06 ,  5C036EF09 ,  5C036EG12 ,  5C036EH11