特許
J-GLOBAL ID:200903007475349954

誘電正接測定装置および誘電正接良否判定方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-075247
公開番号(公開出願番号):特開2009-229253
出願日: 2008年03月24日
公開日(公表日): 2009年10月08日
要約:
【課題】測定周波数10MHz〜1GHz帯における誘電正接の良否を容易にかつ正確に判定できる誘電正接測定装置および誘電正接良否判定方法を提供する。【解決手段】本発明の誘電正接測定装置は、数MHz帯の周波数における試料の誘電正接を測定する第1測定部11と、数GHz帯の周波数における試料の誘電正接を測定する第2測定部13と、第1測定部11および第2測定部13で測定された誘電正接の両方を表示する表示部19とを具備する。このような誘電正接測定装置では、試料の数MHz帯における誘電正接と数GHz帯における誘電正接を、第1測定部11、第2測定部13でそれぞれ測定することができ、これらの誘電正接の両方が表示部19にそれぞれ表示され、測定された数MHz帯における誘電正接と数GHz帯における誘電正接のうち高い方の誘電正接が5×10-4以下である場合には良品として判定できる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
数MHz帯の周波数における試料の誘電正接を測定する第1測定部と、数GHz帯の周波数における前記試料の誘電正接を測定する第2測定部と、前記第1測定部および前記第2測定部で測定された誘電正接の両方を表示する表示部とを具備することを特徴とする誘電正接測定装置。
IPC (3件):
G01N 27/22 ,  G01R 27/26 ,  G01N 22/00
FI (3件):
G01N27/22 Z ,  G01R27/26 T ,  G01N22/00 Y
Fターム (11件):
2G028AA01 ,  2G028CG10 ,  2G028DH15 ,  2G060AA08 ,  2G060AA20 ,  2G060AF11 ,  2G060EA07 ,  2G060HA02 ,  2G060HC13 ,  2G060HC19 ,  2G060KA14
引用特許:
出願人引用 (1件)

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