特許

J-GLOBAL ID：200903007485795677

MEMベースのコンピュータシステム、及びそれに用いるクロック生成発振器回路及びLCタンク装置

発明者： マクコークオデイル マイケル エス ,  ブラウン リチャード ビー
出願人/特許権者： ザ リージェンツ オブ ザ ユニバーシティ オブ ミシガン
代理人 (4件)： 熊倉 禎男 ,  大塚 文昭 ,  今城 俊夫 ,  西島 孝喜
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-572171
公開番号（公開出願番号）：特表2005-518746
出願日： 2003年02月26日
公開日（公表日）： 2005年06月23日
要約：

MEMSベースのコンピュータシステム、クロック発振回路、及び発振器回路、及びその中で用いるLCタンク装置が提供され、これは、CMOS両立性工程を用いて製造される。マイクロマシン加工されたインダクタ(L)及び一対のバラクタ(C)が、金属層によりシリコン基板上に作られて、高い線質係数のLCタンク装置を実現する。このマイクロマシン加工されたLCタンク装置は、同期集積回路のためのデジタルで同調可能な低位相ジッタ、及び低電力クロック、又は時間基準を実現するために、CMOSトランジスタ回路構成に組み込まれる。合成されたクロック信号は、デジタル回路により、数GHzから数MHzに下がるように分割することができ、これは、最新技術と比較すると、安定性が実質的に改善される体系的な手法である。進歩した回路設計技術は、ワット損を最小にし、トランジスタのフリッカ雑音のアップコンバージョンを緩和するのに用いられ、したがって、クロックの安定性が高められた。

請求項（抜粋）：

外部部品を必要とすることなく、高度に安定したデジタル出力信号を生成するMEMベースのクロック発信回路であって、 基板と、 前記基板上に製造され、高QのMEMS LCタンク装置を含む、周期信号を生成するための発振器と、 さらに前記基板上に製造された、前記周期信号を高周波数のデジタル出力信号に変換するための第1回路構成と、 を備えることを特徴とする回路。

IPC (4件)：

H03B5/12 ,  H03B5/02 ,  H03K12/00 ,  H03K21/00

FI (4件)：

H03B5/12 B ,  H03B5/02 D ,  H03K12/00 ,  H03K21/00 J

Fターム (25件)：

5J081AA02 ,  5J081AA19 ,  5J081CC30 ,  5J081CC43 ,  5J081CC44 ,  5J081DD11 ,  5J081DD21 ,  5J081DD29 ,  5J081EE02 ,  5J081EE03 ,  5J081FF09 ,  5J081FF12 ,  5J081FF18 ,  5J081FF26 ,  5J081GG04 ,  5J081GG08 ,  5J081JJ02 ,  5J081JJ03 ,  5J081KK02 ,  5J081KK07 ,  5J081KK22 ,  5J081LL04 ,  5J081LL05 ,  5J081MM01 ,  5J081MM07

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 半導体装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-086774   出願人：松下電工株式会社
• 電圧制御発振器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-018538   出願人：株式会社東芝
• 表示コントローラ/ドライバIC
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-228586   出願人：日本電気株式会社
• 特開平2-262713
  

引用文献：

審査官引用 (1件)

• 1 GHz CMOS VCO design for wireless application usi