特許

J-GLOBAL ID：200903007495413586

露光用基板、露光方法および露光装置

発明者： 谷口 哲夫
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 前田 均 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-251235
公開番号（公開出願番号）：特開2000-082648
出願日： 1998年09月04日
公開日（公表日）： 2000年03月21日
要約：

【要約】【課題】 ウエハなどの露光用基板をスリット状に照明し、スリット状照明視野領域の短手方向に基板を相対的に移動させながら露光する走査型露光において、特にスリット状照明視野領域の長手方向に沿った投影光学系の最適像面に対する基板の位置合わせ精度の向上を図ることができる露光用基板、露光方法および露光装置を提供すること。【解決手段】 基板14の表面に沿って略平行で、相互に略垂直な第1方向Xおよび第2方向Yを仮定し、第1方向Xに沿って溝14bを略平行に形成することで、第2方向Yに沿ったウエハ14の曲げ剛性を、第1方向Xに沿ったウエハ14の曲げ剛性に比較して低くする。

請求項（抜粋）：

基板表面に沿って略平行で、相互に略垂直な第1方向および第2方向を仮定し、前記第2方向に沿った基板の曲げ剛性が、前記第1方向に沿った基板の曲げ剛性に比較して低くすることを特徴とする露光用基板。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/02

FI (4件)：

H01L 21/30 518 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/02 B ,  H01L 21/30 516 B

Fターム (23件)：

5F046AA20 ,  5F046BA05 ,  5F046CA03 ,  5F046CA04 ,  5F046CA07 ,  5F046CB01 ,  5F046CB05 ,  5F046CB08 ,  5F046CB22 ,  5F046CB23 ,  5F046CC01 ,  5F046CC03 ,  5F046CC05 ,  5F046CC08 ,  5F046CC10 ,  5F046CC11 ,  5F046DA01 ,  5F046DA02 ,  5F046DA05 ,  5F046DA07 ,  5F046DA14 ,  5F046DB01 ,  5F046DC12