特許
J-GLOBAL ID：200903007496617649
欠陥検査装置および欠陥検査方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-051057
公開番号（公開出願番号）：特開平6-265479
出願日： 1993年03月11日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：
【要約】【目的】 試料上の欠陥の有無を確実に判断できる欠陥検査装置を提供する。【構成】 スポット状の検査光により試料TPを走査する走査手段1〜5と、検査光に対する試料TPからの散乱光を受光して試料TP上のフーリエ像を瞳面に結像させるフーリエ変換レンズ6とを備えた欠陥検査装置において、試料TPを予備走査してそのときの瞳面の像をランダムアクセス可能な撮像素子10から2次元の画素情報として出力させる。予備走査の開始から終了までにパターンからの散乱光が入射しない位置をCPU13で特定し、この位置に対応する撮像素子10の受光部から監視対象となる複数の受光部を選別する。試料TPの検査時には、監視対象として選別された受光部の入射光強度に基づいてCPU13で欠陥の有無を判別する。
請求項（抜粋）：
スポット状の検査光により試料を走査する走査手段と、前記検査光に対する前記試料からの散乱光を受光して前記試料上のフーリエ像を瞳面に結像させる受光光学系と、を備えた欠陥検査装置において、前記瞳面の像を2次元の画素情報として出力可能な複数の受光部を有する撮像手段と、前記試料を前記走査手段で予備走査したときの前記撮像手段の出力に基づいて、前記撮像手段の複数の受光部の中から前記試料上に形成されたパターンからの散乱光が入射しない受光部を監視対象として選別する選別手段と、前記監視対象として選別された受光部に入射する光強度に基づいて前記試料の欠陥の有無を判別する判別手段と、を備えることを特徴とする欠陥検査装置。
IPC (2件)：
前のページに戻る
