特許
J-GLOBAL ID：200903007499461992
弾性境界波装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-001106
公開番号（公開出願番号）：特開平7-212174
出願日： 1994年01月11日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：
【要約】【目的】温度特性が良く、体積増大を伴う容器によるパッケージングを必要としない小型の弾性境界波装置を提供する。【構成】温度特性の良い弾性境界波を強く励振するため、100<θ<124または128<θ<150であるようなθ回転Yカットタンタル酸リチウム単結晶圧電基板10上に弾性境界波波長換算膜厚h/λがh/λ>1であるシリコン酸化膜12を形成する。
請求項（抜粋）：
角度θの回転Yカットタンタル酸リチウム単結晶圧電基板と、前記圧電基板の主表面に、少なくとも一対の電極指を有する電極周期λの櫛型電極と、前記圧電基板及び前記櫛型電極の上に、膜厚hのシリコン酸化膜を構成した弾性境界波装置において、前記圧電基板のカット角θを100<θ<124または128<θ<150とし、かつh/λ>1としたことを特徴とする弾性境界波装置。
IPC (2件)：
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