特許
J-GLOBAL ID：200903007509872872
タッチ信号プローブ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木下 實三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-131763
公開番号（公開出願番号）：特開平7-332914
出願日： 1994年06月14日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：
【要約】【目的】 接触部と被測定物との接触位置を求めて測定精度が向上するタッチ信号プローブを提供する。【構成】 タッチ信号プローブを、一端に接触部14Aを有しスタイラスホルダ12で支持された振動子14と、この振動子14のホルダ12に対する支持点を振動の節にして振動子14を振動させる加振手段16Aと、前記振動子14の振動変化から前記接触部14Aの被測定物への接触を検出する検出手段16Bと、この検出手段16Bで検出された検出信号と前記接触部14Aの前記被測定物に対する押し込み量との関係から前記被測定物と前記接触部14Aとの接触角を求め、この接触角に従って接触位置を検出する接触位置検出手段20とを備えて構成した。
請求項（抜粋）：
一端に被測定物と接触する接触部を有しスタイラスホルダで支持された振動子と、この振動子のスタイラスホルダに対する支持点を振動の節にして振動子を振動させる加振手段と、前記振動子の振動変化から前記接触部の被測定物への接触を検出する検出手段とを有するタッチ信号プローブにおいて、前記検出手段で検出された検出信号と前記接触部の前記被測定物に対する押し込み量との関係から前記被測定物と前記接触部との接触角を求め、この接触角に従って接触位置を検出する接触位置検出手段を備えて構成したことを特徴とするタッチ信号プローブ。
IPC (2件)：
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